产品应用
ALD及其他真空系统中的应用
产品描述
在ALD领域及其他真空系统中,热井、腔体、管路系、阀门、源瓶、四通等部分需要加热保温,由于结构复杂,
传统的加热保温方式无法实现较好的加热效果,可拆卸加热套,可以按照被加热体的外形尺寸制作,加热
保温一体设计,可以非常方便的安装拆卸反复使用,几乎不用维护,内置温度传感器,可以非常方便的控
制加热温度。
按照客户要求的外形尺寸,使用电压、最高使用温度等参数进行设计,最高加热温度小于650℃.
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非标真空设备加热
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复杂结构真空管道加热
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