
产品介绍
真空系统可拆卸烘烤空间
非标制作的可拆卸烘烤空间,可以提供一个温度均衡的加热环境,整体采用柔性可拆卸设计,采用不燃、耐高低温、耐腐蚀性
材料制作的保温隔热层既可以避免加热空间内的热量散失,又不影响非加热空间的环境温度,保护非加热区人员、仪器及其他
元件的安全。
不受被加热体结构和尺寸的限制,可按照被加热体机构设计空间的外形和结构,根据空间空间的容量的大小选配想对应的数量
的加热模块, 保护层方便拆卸、组装、存储,几乎不用维护。
一般情况空间长期可以提供不大于200℃的环境温度。(根据客户要求可调整)。
在分子束外延(MBE)技术中,烘烤空间(帐篷)(Bake-out Tent)主要用于维持和优化超高真空环境,确保高质量薄膜的生长。
在MBE系统安装或维护后,需要使用烘烤帐篷对整个真空腔体进行烘烤,以去除内壁吸附的水分和其他挥发性污染物。高温烘烤可以加速脱气过程,使系统更快达到所需的超高真空度。
MBE系统中的某些部件,如衬底支架、挡板或喷射炉,需要定期烘烤以去除沉积的杂质。烘烤帐篷可以提供一个局部加热的环境,针对这些部件进行清洁处理。 由于MBE系统需要维持超高真空,常规的烘烤可能需要较长时间。使用烘烤帐篷缩短烘烤时间,从而减少系统的停机时间,提高生产效率。
在烘烤过程中,如果没有适当的隔离,可能引入新的污染物。烘烤帐篷可以形成一个封闭的空间,防止外部污染物进入正在处理的部件或腔体,确保烘烤后的清洁度。
相对密闭洁净的恒温空间,可以为空间内的各个区域,提供性对均衡的加热温度。确保系统每个部分受热温度相对均衡。
特点:
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整体不含石棉材料,表面洁净,耐高低温、可在洁净环境下使用。
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非常方便安装拆卸、反复使用,存储和周转。
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使用费用低,基本无需维护,耐用性好。
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可根据需要进行拼接组合,应用灵活方便
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模块化设计,温度可调,控制灵活方便,便于兼容整合
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使用范围广,应用灵活。基本满足各个领域加热烘烤需要
技术优势:
高效性:
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相比传统整体烘烤,恒温空间可以对局部区域定向加热,减少能耗并避免热敏感部件(如电子线路)受损。
洁净度保障:
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采用金属或耐高温柔性材料制作,自身不释放挥发物,且隔绝外部污染。
兼容性:
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可与质谱仪、离子泵等设备联动,实时监测真空度变化,动态调整烘烤温度和时间。
按照被加热体的外形尺寸的变化或其他使用空间的要求,最近根据需要对加热空间进行拼接组合,分区域空间或整体形成大的空间
进行烘烤加热。由独立或兼容系统的温控系统进行温度控制。
应用:
真空系统的脱气处理
系统初装或维护后:
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安装MBE腔体或维修后的部件(如更换喷射源)需彻底烘烤,消除加工或组装过程中引入的污染物。
周期性维护:
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长期使用后,腔体内壁可能吸附薄膜材料残留(如Ga液滴),通过烘烤帐篷清除沉积物,恢复真空性能。
应急处理:
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若因操作失误导致腔体暴露大气(如意外破真空),快速烘烤可加速水氧脱附,缩短系统恢复时间。
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