产品介绍
真空系统可拆卸烘烤空间
非标制作的可拆卸烘烤空间，可以提供一个温度均衡的加热环境，整体采用柔性可拆卸设计，采用不燃、耐高低温、耐腐蚀性 
材料制作的保温隔热层既可以避免加热空间内的热量散失，又不影响非加热空间的环境温度，保护非加热区人员、仪器及其他
元件的安全。
不受被加热体结构和尺寸的限制，可按照被加热体机构设计空间的外形和结构，根据空间空间的容量的大小选配想对应的数量
的加热模块， 保护层方便拆卸、组装、存储，几乎不用维护。
一般情况空间长期可以提供不大于200℃的环境温度。（根据客户要求可调整）。
在分子束外延（MBE）技术中，烘烤空间（帐篷）（Bake-out Tent）主要用于维持和优化超高真空环境，确保高质量薄膜的生长。
在MBE系统安装或维护后，需要使用烘烤帐篷对整个真空腔体进行烘烤，以去除内壁吸附的水分和其他挥发性污染物。高温烘烤可以加速脱气过程，使系统更快达到所需的超高真空度。
MBE系统中的某些部件，如衬底支架、挡板或喷射炉，需要定期烘烤以去除沉积的杂质。烘烤帐篷可以提供一个局部加热的环境，针对这些部件进行清洁处理。 由于MBE系统需要维持超高真空，常规的烘烤可能需要较长时间。使用烘烤帐篷缩短烘烤时间，从而减少系统的停机时间，提高生产效率。
在烘烤过程中，如果没有适当的隔离，可能引入新的污染物。烘烤帐篷可以形成一个封闭的空间，防止外部污染物进入正在处理的部件或腔体，确保烘烤后的清洁度。
相对密闭洁净的恒温空间，可以为空间内的各个区域，提供性对均衡的加热温度。确保系统每个部分受热温度相对均衡。
特点：
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整体不含石棉材料，表面洁净，耐高低温、可在洁净环境下使用。
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非常方便安装拆卸、反复使用，存储和周转。
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使用费用低，基本无需维护，耐用性好。
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可根据需要进行拼接组合，应用灵活方便
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模块化设计，温度可调，控制灵活方便，便于兼容整合
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使用范围广，应用灵活。基本满足各个领域加热烘烤需要
技术优势：
高效性：
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相比传统整体烘烤，恒温空间可以对局部区域定向加热，减少能耗并避免热敏感部件（如电子线路）受损。
洁净度保障：
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采用金属或耐高温柔性材料制作，自身不释放挥发物，且隔绝外部污染。
兼容性：
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可与质谱仪、离子泵等设备联动，实时监测真空度变化，动态调整烘烤温度和时间。
按照被加热体的外形尺寸的变化或其他使用空间的要求，最近根据需要对加热空间进行拼接组合，分区域空间或整体形成大的空间
进行烘烤加热。由独立或兼容系统的温控系统进行温度控制。
应用：
真空系统的脱气处理
系统初装或维护后：
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安装MBE腔体或维修后的部件（如更换喷射源）需彻底烘烤，消除加工或组装过程中引入的污染物。
周期性维护：
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长期使用后，腔体内壁可能吸附薄膜材料残留（如Ga液滴），通过烘烤帐篷清除沉积物，恢复真空性能。
应急处理：
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若因操作失误导致腔体暴露大气（如意外破真空），快速烘烤可加速水氧脱附，缩短系统恢复时间。
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